JZDTS40建筑材料或制品单体燃烧试验室适用标准：　　GB/T20284-2006《建筑材料或制品的单体燃烧试验》配置：1、引风机2、排烟管道(测量区)3、收集器4、集气罩5、护栏6、燃烧室门7、小车8、观察窗9、燃烧室10、微机处理系统11、气体分析仪技术特性：　　样品是安装在一个小推车上，其内

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该系列PECVD系统具有固态等离子源、分开式反应气体进气系统，动态衬底温控，全面控制真空系统，采用集中现场控制总线技术的“值守精灵”控制软件，以及友好用户操作界面来操作。适用于室温至1400℃条件下进行的SiO2、SiNx,、 SiONx a-Si薄膜的沉积，同时可实现TEOS源沉积，SiC膜层沉

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